行业标准项目建议书
建议项目名称
(中文)
氧化铟锌靶材
建议项目名称
(英文)
Indium-zinc oxide target
制定或修订
■制定 □修订
被修订标准号
采用程度
□IDT □MOD □NEQ
采标号
国际标准名称
(中文)
国际标准名称
(英文)
采用快速程序
□FTP
快速程序代码
□B □C
ICS分类号
77.150.99
中国标准分类号
H63
牵头单位
西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司
体系编号
336
参与单位
有研亿金新材料有限公司、中国航发北京航空材料研究院
完成周期(月)
24
目的、意义
或必要性

氧化铟锌(IZO)靶材作为镀膜材料,以磁控溅射技术制备非晶透明导电氧化物(amorphous transparent conducting oxidesa-TCO)薄膜。随着有机/聚合物衬底的广泛使用,非晶透明导电氧化物薄膜由于兼具优异的透明与导电性、性能稳定、表面平整光滑、易于刻蚀和大面积制备、兼容现有工艺、无须后续退火处理进而简化工艺流程等优点,已应用于薄膜晶体管、军用飞行器透明器件、有机/聚合物太阳能电池、电致变色、电磁屏蔽等诸多领域相对于结晶ITO薄膜,IZO薄膜具有如下优势:1)可以在很宽的成分(ZnO质量分数10 % 32.4% )、温度等条件下保持非晶结构;2薄膜表面粗糙度低至1nm3可见光区折射率介于1.92.2具备良好的透光性;4)在非晶态具有较低的电阻率(2.4 xl0-4 Ω cm);5)机械性能上IZO薄膜具有比ITO更高的弹性模量和硬度,较低的应力水平,相比ITO薄膜具有更好的韧性

    目前,国内尚无IZO靶材的相关标准。作为TCO镀膜的一种关键材料,国内IZO烧结靶材制造水平参差不齐,在材料组成、烧结密度、导电性、微观组织结构等方面相差很大。本标准的制定有利于推进高性能IZO靶材制造技术研究,规范加工生产,促进提高生产工艺水平,保证产品性能,从而全面提高我国靶材制造企业的产品质量和市场竞争力。

范围和主要
技术内容

范围:本标准规定了氧化铟锌靶材的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存内容。本标准适用于以高纯氧化铟、高纯氧化锌为原料,采用粉末冶金工艺固相烧结制成的氧化铟锌靶材。

主要技术内容:

1、主要成分:质量百分比ln2O3:ZnO=90:10,偏差±0.5;其他配比由供需双方商定

2、纯度:≥99.99%

3、主要杂质成分

   杂质含量,质量分数不大于(×10-4)     %

Fe

Al

Si

Ca

Mg

Cu

Pb

Ni

Cd

25

10

20

15

5

5

5

5

5

 

 

 

 

4、靶材密度≥6.85g/cm3

5、靶材电阻率≤6.0×10-3ΩNaN

6氧化铟锌靶材化学分析方法:电感耦合等离子体发射光谱法(见附件)

国内外情况
简要说明

  1. 1、日本JX日矿金属、出光兴产、韩国三星等公司已实现量产并提供商业化产品。

  2. 2、西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司的氧化铟锌产品也已生产并应用于J-20上(军用飞行器透明器件)。

    3、氧化铟锌靶材暂无相关的国家或行业的质量标准。

备注
 
牵头单位
(签字、盖公章)
月 日
标准化技术组织
(签字、盖公章)
月 日
部委托机构
(签字、盖公章)
月 日
[注1] 填写制定或修订项目中,若选择修订必须填写被修订标准号;
[注2] 选择采用国际标准,必须填写采标号及采用程度;
[注3] 选择采用快速程序,必须填写快速程序代码;
[注4] 体系编号是指在各行业(领域)技术标准体系建设方案中的体系编号。
文件说明
14 氧化铟锌靶材.docx (21.22KB)任务书(建议书)